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题目内容（请给出正确答案）

[单选题]

干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（)。

A.生长出的二氧化硅中引入很多可动离子

B.氧化的速度慢

C.生长的二氧化硅缺陷多

D.生长的二氧化硅薄膜钝化效果差

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